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电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统
2017-12-15 09:54:37 来源：能源和环境问题日益成为各方关注的焦点，为了实现能源和环境的可持续发展，世界各国都将太阳能发电行业作为发展的重。多晶硅还是信息产业和新能源产业*基础的原材料，还原工艺是多晶硅生产的关键工艺和成品工艺，其工艺条件和参数控制好坏直接影响产品质量和产量。电子级多晶硅生产工艺要求很高，要在“无油、无水、无尘”的环境下运行。目前多晶硅生产多数采用改良西门子法，用来生产半导体行业电子级多晶硅；还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备，其运行好坏直接影响多晶硅质量及生产成本。钟罩清洗不干净、光洁度不够，常常导致硅芯击不穿或产品质量污染，所以钟罩清洗设备对多晶硅生产非常重要。经过多年来客户的实际应用和需求，通过总结借鉴国内外经验，欧博ABG洁对污染和洁净的概念和控制有了更全面的认识，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，研发电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统。欧博ABG洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统包括低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等，系统实现了钟罩的全自动清洗和烘干操作。电子级多晶硅还原炉钟罩自动清洗系统特点：1、多晶硅还原炉钟罩清洗系统以3D形式的网状喷射来完成炉筒内部表面的水力扫射，加之万级净化干燥系统，完全满足电子级多晶硅生产的需求。2、自动化程度高，清洗时只需一键操作即可，操作简单方便。自动控制系统能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能。3、在整个还原炉的清洗过程中，清洗、干燥中筒内形成微负压状态，防止清洗外溢，同时将底座与筒体下法兰处的污染物等一并吹扫，通过排污管排出，从而保证了整个过程不会对洁净区造成污染。全密闭式清洗烘干系统，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，基本消除了对现场及操作人员的污染。4、欧博ABG洁电子级多晶硅钟罩清洗系统性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统的适应范围广，一套系统可以实现多种型号钟罩的清洗烘干。多晶硅钟罩的清洗方式多种多样，有高压清洗、化学溶剂低压清洗、机械抛光等，欧博ABG洁多晶硅钟罩清洗系统覆盖了国内90%的多晶硅企业，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。这套电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统经过反复摸索求证，可根据不同的钟罩、不同车间厂房不同能源条件，提供个性化设计，节省了人力物力，大大降低劳动强度，这也对提高多晶硅品质产生重要意义，取得了一定的经济效益和社会效益。
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